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全自動晶圓裂片機
設備主要針對GPP晶圓開發的一種高端自動裂片設備;配備自動上下料、Z軸壓力感應、視覺角度矯正、雙片檢測、自動噴液功能
廣泛應用于集成電路晶圓、GPP晶圓的裂片。
全自動晶圓高速劃片機
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晶圓晶粒外觀檢測機
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晶圓晶粒外觀檢測機
該設備主要針對GPP或TVS晶圓開發的一種高端芯粒外觀檢測設備,搭配自動上下料,上下雙CCD外觀檢測,可剔除不滿足品質標準的外觀缺陷芯粒。
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